無塵室的適用范圍很廣，只要潔凈要求比較高的都會(huì)用到。今天我們就來為大家講述一下無塵室等級分類及應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)。

  一、無塵室的等級說明

  依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸是0.5um，無塵室等級應(yīng)以特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。

  二、無塵室等級標(biāo)準(zhǔn)

  據(jù)查詢無塵室等級標(biāo)準(zhǔn)的版本較多，于是小編就整理兩個(gè)較常用的劃分標(biāo)準(zhǔn)，分別是國際標(biāo)準(zhǔn) IOS14 ** 4-1、中國標(biāo)準(zhǔn) GB/T16292-1996，具體詳情請看下表：

  空氣潔凈度分級標(biāo)準(zhǔn)：IOS14 ** 4-1（國際標(biāo)準(zhǔn)）

  空氣潔凈度分級標(biāo)準(zhǔn)：GB/T16292-1996（中國標(biāo)準(zhǔn)）

  三、無塵室標(biāo)準(zhǔn)分類

  >>>亂流式(Turbulent Flow)：

  空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵車間內(nèi)的空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入無塵室，并由無塵車間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無塵室等級為1,000-100,000級的。

  優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，無塵室擴(kuò)充比較容易，在某些特殊用途場所可并用無塵工作臺，提高無塵車間等級。

  缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)要求的潔凈度，需耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間。

  >>>層流式(Laminar)：

  層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成均勻的直線形，空氣由覆蓋率100%的過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無塵室等級需求較高的環(huán)境使用，一般其無塵室等級為Class 1~100。

  其型式可分為二種：

  ?無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁的回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

  優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變穩(wěn)定。

  缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

  ?無塵車間垂直層流式：房間天花板完全用ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可獲得較高的潔凈度，在生產(chǎn)中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝獠⒉粫?huì)影響其它工作區(qū)域。

  優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易受作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

  缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板的吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。

  >>>復(fù)合式(Mixed Type)：

  復(fù)合式是將亂流式及層流式予以復(fù)合并用，可提供局部超潔凈空氣。

  ●無塵車間潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將生產(chǎn)區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)大都采用此種型式。

  潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：彈性擴(kuò)充容易、維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

  ●無塵車間潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量的送風(fēng)即可得到良好的潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線最適宜使用。藥品、食品及半導(dǎo)體均適用。

  ●無塵車間并裝局部無塵室(Clean Spot)：將亂流無塵室內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，為生產(chǎn)用。

  四、無塵室的應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)

  若想檢驗(yàn)無塵室是否達(dá)到應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)，大家可以先從遮蔽率；風(fēng)速、溫濕度；壓差、構(gòu)成要求這四個(gè)方面考慮：

  >>>遮蔽率

  Air Change：FFU的表面積*風(fēng)速*FFU數(shù)量/無塵室體積

  HEPA遮蔽率：FFU的表面積*FFU數(shù)量/無塵室面積

  >>>風(fēng)速、溫濕度

  氣流速度為：0.3-0.5m/s（60-100ft/min）

  一般溫度控制范圍：T=（21±2）℃

  一般濕度控制范圍：（45±5）%RH

  >>>壓差

  在兩個(gè)無塵室間合理的設(shè)計(jì)壓力差應(yīng)為10Pa，而在無塵室和未確認(rèn)潔凈等級的區(qū)域應(yīng)保持有15Pa的壓力差。當(dāng)產(chǎn)生這些壓力差有實(shí)際困難時(shí)，維持5Pa的最小壓力差是可以接受的。

  >>>構(gòu)成要求

  A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕

  B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子

  C.吸濕性小

  D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高

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