在凈化工程中，凈化車間的溫濕度控制主要是根據(jù)工藝要求來確定。在滿足工藝要求的條件下，凈化車間的溫濕度控制應(yīng)考慮到人的舒適度感。從凈化過程可以知道，隨著空氣凈化度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對凈化室溫濕度控制的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于凈化工程中加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24 um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)最佳濕度范圍為35—45%。從以上各種情況看，凈化車間中的溫濕度控制要求是非常嚴(yán)格的，專業(yè)的凈化車間溫濕度控制隊伍是凈化工程中必備的。

    以上就是廣州科凌凈化工程公司分析凈化工程中凈化車間濕度控制的重要性。希望對你有所幫助。我們專業(yè)從事：無塵車間,凈化工程,潔凈廠房,凈化車間,無菌車間,凈化廠房,無塵廠房,半導(dǎo)體無塵車間,醫(yī)療制藥凈化工程,生物實驗室凈化工程,電子光電凈化工程,醫(yī)療潔凈工程,實驗室凈化,手術(shù)室凈化,無塵車間裝修,凈化車間裝修,凈化工程裝修,GMP凈化車間,廣州凈化工程公司,中央廚房裝修,醫(yī)用醫(yī)藥冷庫,廠房凈化工程,實驗室凈化工程,廠房凈化裝飾,實驗室改造工程,廠房凈化設(shè)計,車間凈化工程,數(shù)據(jù)中心機(jī)房裝修。歡迎訪問我們的官方網(wǎng)站：http://www.tianjindaiy.cn 。